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地址： 青島市膠州市上合示范區(qū)閩江路60號(hào)
設(shè)備名稱 自動(dòng)勻膠機(jī) 品牌型號(hào) （2C）KS -S（III）100 -2
設(shè)備用途
通過高速旋轉(zhuǎn)的電機(jī)帶動(dòng)晶圓轉(zhuǎn)動(dòng)，結(jié)合自動(dòng)滴膠，將光刻膠均勻的涂覆到晶圓上。帶有自動(dòng)熱板和冷板。
主要技術(shù)指標(biāo)：
可用晶圓尺寸：2inch 3inch
最大轉(zhuǎn)速：4500rpm
轉(zhuǎn)速偏差：±1RPM
熱板溫度范圍： 50-150℃
冷板溫度范圍：18-28℃
膜厚均勻性：3%（對2μm厚度以下膠）
